技术文章 / article 您的位置:网站首页 > 技术文章 > 真空镀膜机核心--真空系统

真空镀膜机核心--真空系统

发布时间: 2020-04-06  点击次数: 286次

真空镀膜机是目前制作真空条件应用广泛的设备。可以分为电子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机、关学镀膜机设备等等,但是他们的结构都一样。                                                                                                                                              

在真空镀膜机中真空系统是最核心的一个部件,为获得必要的真空度,在真空镀膜机中一般用机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量部分等组成一个完整的真空系统。

 

下面给大家详细介绍真空系统各部分的组成及工作原理。

 

 

  • 真空主体——真空腔
        涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式,不锈钢材料制造、氩弧焊接、表面进行化学抛光处理,真空腔组件上焊有各种规格的法兰接口。

根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径1.3M0.9M1.5M1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。

  • 辅助抽气系统 

      此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成 

      排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。 
      排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。

1、机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
  机械泵常常被用来抽除干燥的空气,但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体,机械泵一般被用来抽除气体,但是对水气没有好的效果,所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等,转子在定子里面但与定子不同心轴,象两个内切圆,转子槽内装有两片弹片,两弹片中间装有弹簧,保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。
  机械泵是从大气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕,甚至更高。 

  2、增压泵又叫罗茨泵:它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵。

 3、油扩散泵:机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。

油扩散泵的应用压强范围是10-1-10-7帕,它是利用气体的扩散现象来排气的,它具有结构简单,操作方便,抽速大(最高可以达到10+5/秒)等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成,里面主要添加扩散泵油(日本的型号是D-704#),根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。 
  扩散泵底部内储存有扩散泵油,上部为进气口,右侧旁下部为出气口,在工作时出气口由机械泵提供前置压强,机械泵充当前置泵。 
  当扩散泵的油被电炉加热时,产生的油蒸汽提供前置压强,机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时,产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可喷出一段距离,构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁,凝结为液体,流回蒸发器,即靠油的蒸发——喷射——凝结,重复循环来实现抽气的。 
 
  4、低温冷凝泵:它是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵,是目前获得极限真空最高,抽速最大的抽气泵。

三、真空测量部分

 真空计:真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为绝对真空计和相对真空计,绝对真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。 人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计, 电离计,皮拉尼计等等。

四、Leybold莱宝、Edwards爱德华用于真空镀膜机真空泵型号

Leybold莱宝单级旋片泵系列:SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,,SV100B,SV200,SV300B,SV470B(F),SV570B(F),SV630B(F),SV750B(F),SV120

Leybold莱宝罗茨真空泵系列:WA/WAU251,WA/WAU501,WA/WAU1001,WA/WAU2001

Edwards爱德华双级旋片泵系列:E2M18 E2M28 E2M30 E2M40 E2M80 E2M175 E2M275

Edwards爱德华罗茨真空泵系列:EH250EH500EH1200 EH2600EH4200

到今天,真空镀膜机已经被广泛应用,制镀薄膜尤其广泛,其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中,如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞弹、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等,真空镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。

 

 


 

在线客服 联系方式

服务热线

86-0769-88900800