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简述涡旋真空泵的特点及应用范围

发布时间: 2020-05-06  点击次数: 76次
   一:涡旋真空泵的应用范围:
  1、已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。
  2、机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医疗设备行业:牙科仪器、透析机、生物制备与药品制备。
  二:涡旋真空泵的组成:
  由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘由圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线涡旋形盘避组成,定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成基本抽气结构。
  三:涡旋真空泵的特点:
  1、在较宽的压力范围内有较大的抽速。
  2、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染。
  3、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。
  4、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速。
  5、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
  6、压缩比较低,对氢气抽气效果差。
  小编语录:关于真空泵的特点、组成及应用简单介绍到这,相信大家都明白了吧!总的来说,希望对大家有所帮助。
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