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涡旋真空泵的原理及结构特点

发布时间: 2020-05-19  点击次数: 70次
   一:涡旋真空泵的原理:
  1、工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。
  2、一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起,动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差,这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。
  3、静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(在横截面上是几个点)上接触形成几对月牙形封闭腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动,接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。
  4、在电机的带动下,曲轴每转一圈,就有一组新的月牙封闭腔形成,从而实现真空泵的吸气、压缩、排气循环,对被抽气体形成包容和强制输送。
  二:涡旋真空泵的结构特点
  1、涡旋式真空泵的主要运动件只有动涡旋盘,动力传递简单,相同尺寸下运动半径小,所以其具备了结构简单紧凑、运行平稳,几乎无磨损,消耗功率小等特点,这是其他类型的干式真空泵所不具备的。
  2、涡旋式真空泵抽速较小,同时也不适宜用于有毒、易燃易爆气体、腐蚀性气体及药品、溶剂、粉状体等介质工况环境。
  3、因此目前涡旋式真空泵较多应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。因其可以直接在大气压下启动,很多时候作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。
  总结:真空泵的原理及结构特点你知道哪些呢?看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧!总的来说,希望对大家有所帮助。
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