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真空工艺的应用对环境有什么要求

发布时间: 2020-06-02  点击次数: 75次

真空工艺的应用环境是建立低于大气压力的物理环境,真空工艺的使用领域众多,不同真空工艺对环境的要求也不相同,

在真空工艺应用中,真空设备需要满足真空工艺各类参数需求。为了更好的实现这一需求,不仅对真空设备性能有要求,同时也需要环境能够给设备提供良好的运作条件,保证设备稳定运行,好环境才有好性能。

本文根据多年在真空行业服务的经验,为您分析真空工艺对环境的相关要求。
 

常规真空工艺对环境的要求

        所谓常规真空工艺系指没有特殊要求的真空工艺过程,这类真空装置(设备)对真空卫生的要求:

      (1)凡是处于真空中的真空设备零件,都要求无积存的污染源,表面无尘埃,无铁屑、无锈蚀;

      (2 )真空设备的真空室表面要光滑、无松软组织和气孔、无内焊缝等影响真空的缺陷;

      (3 )高真空设备中,真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂,要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂;法兰、观察窗的密封部件要涂以高真空油脂;

      (4)真空设备一般应在温度为15~30℃,相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作,冷却水进水温度不高于25 ℃。

 

电真空工艺对环境的要求

         电真空结构材料除具有良好的机械性能和加工性能外,还要满足其他性能的要求,即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度、合适的辐射能力等。所以电真空工艺具有特殊性,对清洁处理要求是极为严格的,应最大限度清除或减少零件的污染。

 

真空镀膜工艺对环境的要求

        真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要,基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。这些污物基本上均可采用去油或化学清洗方法将其去掉。

 

无油超高真空系统要避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能,为具体的工艺过程提供清洁的超高真空环境。

 

超高真空金属系统常用1Cr18Ni9Ti为结构材料;有些部位可能使用无氧铜、可伐合金、纯金、纯银、钨、钽、钼、钛等。绝缘材料常用玻璃和95真空瓷;而高分子聚合物由于可能分解出碳氢化合物污染系统,不能使用;饱和蒸气压较高的材料,如锌及其合金也不能使用。

超高真空系统中材料的出气是限制真空度提高的重要因素。一方面可采用清洗、抛光、把零件部件放在真空柜中保存或真空预热除气等方法降低出气速率,以改善材料的原始处理情况。另一方面还可以采用真空系统高温烘烤除气,加速材料出气,使材料表面吸附和吸收的气体分子加速放出并被排出,冷却后材料的出气速率会降低几个数量级。因此,对于一般需要达到10-7Pa以下压力的真空系统,都必须要烘烤除气。

 

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