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真空阀门的定义和作用

发布时间: 2020-06-04  点击次数: 194次

真空阀门是在真空系统中用来隔离(切断)气流、调节气流流量、分配气流的真空元件。种类繁多的真空装置(亦称真空工程设备)都离不开真空系统。真空阀门不论在简单或复杂的真空系统中都占有重要的地位。

  通常在真空系统设计时,要根据真空装置的要求和真空系统的特点来选择不同类型的真空阀门。例如,真空放气阀,是用来给真空系统放入大气用的。真空装置完成真空作业后,若要更换工件或取出样品,必须将大气放入真空室,使真空室大门两侧没有压差,才能打开大门进行工件更换。而针阀是向真空系统中充气,并能调节气体流量的真空阀门。

  真空阀门常用于真空泵抽速测量、真空镀膜、离子束刻蚀、受控热核反应装置等真空系统上,提供精确调节的气体流量,用以获得稳定的工艺要求的真空度;高真空挡板阀、高真空插板阀,常用于主抽气泵的进气口上,用来隔离真空泵,使之不暴露于大气之中。高真空蝶阀可装于真空室,真空管道与真空泵之间,用以接通和隔离(截止)气流。阀门设计不应当漏气、发生机械、电气故障等。

  需要纠正一下国内电站阀门存在的错误叫法,在电站阀门中,通常将填料部分带水封装置的阀门前面冠以“真空”,如真空闸阀真空截止阀等。而事实上,这些阀门的介质压力都很高,有的阀门压力高达10MPa,这是一种错误的叫法,应当予以纠正。

 

选用真空阀门时主要应注意的事项如下:

  1、所应用的真空区域;

  2、关闭时阀门两边所承受的压力差;

  3、阀的漏率;

  4、能承受的烘烤温度;

  5、能承受的环境温度;

  6、以开启/封闭次数计的寿命;

  7、如为超高真空金属阀,还需知道其允许的升温率和降温率。

 

真空阀门设计原则一般应有以下几点:

  1、阀门的密封性能要好,不但阀板封闭处漏气速率要小,而且阀体的漏气速率要小;

  2、阀门密封部件耐磨性要好,特别是阀座与阀板密封部件要能反复使用,寿命长;

  3、阀门的通导能力要大;

  4、阀门材料应具有低饱和蒸汽压、高耐蚀能力和高化学稳定性;

  5、超高真空阀门应耐烘烤,烘烤温度一般不低于150℃,最gao450℃;

  6、阀门结构要简单,造型美观大方,开关轻便灵活,开关状态应有标识,大型阀门应有起吊装置,操作方便,维修容易;

  7、阀门零部件加工工艺性要好,表面处理工艺先进,阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准要求。

 

真空阀门通常根据阀门的工作特性、传动原理、连接方式和用途等进行分类。

  根据工作压力分:低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门。

  根据用途分:截止阀、隔离阀、充(放)气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀等。

  根据传动原理分:手动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀和液动式真空阀。

  根据材料分:玻璃真空活塞(考克)、金属真空阀。

  根据结构特点分:挡板阀、翻板阀、蝶阀、球阀、连杆阀、隔板阀、闸阀、双通阀、三通阀、四通直通阀和直通阀等。

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