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真空容器中污染物的主要来源有哪些

发布时间: 2020-06-05  点击次数: 74次

很多真空应用中,都需要避免污染,像涉及食品药品制造,以及电子器件、半导体、光学器件制造等。那今天螺杆真空泵厂家就与大家一起来认识下真空容器中污染物的主要来源有哪些。

 

真空容器中的污染物主要来自于加工制造过程、安装调试过程以及真空原件和环境的影响,更具体的大致包括以下几个方面:

 

首先是真空容器以及它的内部安装的各种机构,都是通过机械加工得到。因此这个过程中,它们的表面不可避免的会受到润滑油、冷却液、焊接的污染,这些是真空容器中污染物的重要来源之一。

 

其次是和真空系统选择的真空设备有关。真空容器抽真空中,对于真空泵的选择种类很多,像油扩散泵、油封式机械泵、往复泵、各种干式真空泵等。其中油扩散泵、油封泵以及常规往复泵,它们的工作介质都会涉及油,因此真空室产生会难以避免的受到油蒸气的污染。而就算是干式真空泵,如螺杆真空泵、涡旋真空泵、爪泵、涡轮分子泵等,虽然腔体没有油介质,但大部分齿轮箱、轴承等地方还是存在润滑油脂。即使是使用低蒸气压的油脂,极少量的油蒸气还是有可能返流到真空容器中,因而很难做到绝对杜绝。

 

第三是各类真空阀门。它们的运动机构有时采用油或脂润滑,这是常被人们忽视的污染源。因此有些对污染敏感的真空应用中,真空阀门会要求采用固体润滑。

 

第四是真空容器中有时会存在有机涂层,常有各种测试导线,以及运动机构的润滑、轴承的润滑,溶氧也是污染源之一。

 

第五是安装过程中,清洗液的残留物,操作人员的衣着、手迹、毛发皮屑等会造成污染,以及使用工具时带来的污染。

 

第六是材料轧制、存储、机加工后产生的氧化层、氮化层未清理,这也是污染源。

 

第七是真空容器中各种材料本身的解吸与出气。

最后就是环境污染物,就是试验样品存放场地有机物或无机物的污染。

 

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