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阿特拉斯.科普柯真空泵在半导体行业真空炉的应用

发布时间: 2020-07-13  点击次数: 80次

一、真空炉结构:
  真空炉结构一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。
  (1)真空炉壳:
  密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成,可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质,炉壳一般用水冷或气冷降温。
  (2)真空炉膛:
  炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件,如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。
  (3)坩埚:
  熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚,有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。
  (4)真空系统:
  真空炉的真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
  二、真空炉工作原理:
  工作原理即通过抽取真空,形成一个几乎没有空气的低压环境,然后利用水在低压(低于大气压)低温沸腾产生蒸汽,通过汽水凝结换热方式将热量输出的原理工作的。

   三、真空设备:

从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。

真空炉种类繁多,对真空系统的要求也不尽相同。就真空而言,有低真空、中真空和高真空系统。
1.低真空系统低真空系统适用于真空范围为2~1333Pa的真空热处理炉,如预抽式低真空井式炉。大多数泵是基于油封的旋转泵。
2.中真空系统适用于真空度为3x10~1.333Pa的真空热处理炉,中真空系统在真空热处理炉中应用最wei
广泛,通常由两级真空泵机组组成。主泵采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗慈朋)或油增压泵的高真空系统

3.高真空系统适用于6.6x 10~1.333x10的真空度。真空热处理炉Pa系列,如真空退火炉、真空钎焊炉,通常由三级真空泵组成,主泵常用的有油扩散泵、离子泵,泵多采用一级旋转机械泵或旋转活塞泵.

 

四、应用

广泛用于半导体行业的电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。

 

  • 阿特拉斯GVS系列旋片真空泵在真空炉的应用优势:

 

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