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涡旋真空泵的结构原理及用途

发布时间: 2020-10-23  点击次数: 30次
   一、涡旋真空泵的结构原理:
  1、工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘付啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。
  2、一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起,动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差,这样组成的一对涡旋盘副构成了真空泵的抽气机构。
  3、静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(在横截面上是几个点)上接触形成几对月牙形封闭腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动。
  4、接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。曲轴每转一圈,就有一组新的月牙封闭腔形成,所以真空泵的吸气、压缩、排气循环在电机的带动下被连续重复,对被抽气体形成包容和强制输送。
  二、涡旋真空泵的应用领域:
  1、涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。
  2、机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医疗设备行业:牙科仪器、透析机、生物制备与药品制备。
  3、包装行业:食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。
  总结:涡旋真空泵的结构原理及用途小编就分享到这了,看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧!总的来说,希望对大家有所帮助。
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